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UV光解的內部構造一般是隔網和紫外線燈管，隔網的作用主要是防止異物進入燈管的區域從而防止燈管被粘臟，而導致效果變差。而UV光解燈管區就是作用區域，燈管會發出紫外線C波段射線，產生臭氧，并使廢氣得到氧化分解。如果廢氣中的濕度過大，那么首先會將隔網的棉堵塞，使過風量變少。其次，過大的濕度會影響臭氧對廢氣氧化分解的效果。另外濕度高會使得運行發熱的光管破裂，這會使UV燈管燒壞，UV燈管的頭部會出現生銹現象，長期過高的濕度會加快機箱內部生銹。大大降低了UV光解的使用壽命。怎樣的濕度才叫過大呢？我們要先觀察一下進入UV光解的廢氣，這時UV光解的電源不要打開，不然紫外光會燒傷人，如看到肉眼可以見到的水霧，如果隔網上手摸到濕水滴、或機箱內有水滴、露珠的現象就叫做濕度過大了。
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